Pochopení procesu čistého prostoru (CRP) ve výrobě polovodičů
Clean Room Process (CRP) je metodologie používaná v polovodičovém průmyslu k zajištění čistoty výrobního prostředí a zabránění kontaminaci během výrobního procesu. Cílem CRP je minimalizovat riziko zanesení částic nebo chemických kontaminantů do výrobního procesu, které by mohly ohrozit výkonnost nebo výtěžnost konečného produktu. výrobního procesu. Tyto kroky mohou zahrnovat:
1. Plášť a rukavice: Personál zapojený do výrobního procesu nosí speciální pláště, rukavice a další ochranné oděvy, aby se zabránilo kontaminaci jejich těl a kožním mazem.
2. Klasifikace čistých prostor: Výrobní prostředí je klasifikováno do různých tříd čistých prostor na základě úrovně čistoty požadované pro konkrétní prováděný proces.
3. Filtrace vzduchu: Vzduchové filtry s vysokou účinností (HEPA) se používají k odstranění částic a jiných nečistot ze vzduchu.
4. Manipulace s materiálem: K manipulaci s materiály a součástmi způsobem, který minimalizuje riziko kontaminace, se používá specializované vybavení a techniky.
5. Čištění a dekontaminace: Výrobní zařízení a pracovní plochy jsou pravidelně čištěny a dekontaminovány, aby se zabránilo hromadění částic a chemických nečistot.
6. Kontrola procesu: Výrobní proces je přísně kontrolován, aby se minimalizovalo riziko zanesení kontaminantů do produktu.
7. Kontrola kvality: Provádí se pravidelné kontroly kvality, aby bylo zajištěno, že konečný produkt splňuje požadované specifikace a neobsahuje vady nebo nečistoty.
Dodržováním těchto postupů CRP mohou výrobci polovodičů minimalizovat riziko kontaminace a zajistit vysokou kvalitu a spolehlivost svých produkty.



