A tisztatéri folyamat (CRP) megértése a félvezetőgyártásban
A Clean Room Process (CRP) egy módszertan, amelyet a félvezetőiparban használnak a gyártási környezet tisztaságának biztosítására és a gyártási folyamat során a szennyeződés megelőzésére. A CRP célja, hogy minimálisra csökkentse annak kockázatát, hogy olyan részecskék vagy kémiai szennyeződések kerüljenek a gyártási folyamatba, amelyek veszélyeztethetik a végtermék teljesítményét vagy hozamát.
A CRP egy sor lépést és eljárást foglal magában, amelyek célja a tiszta és ellenőrzött környezet fenntartása az egész folyamat során. a gyártási folyamat. Ezek a lépések a következőket tartalmazhatják:
1. Köpeny és kesztyű: A gyártási folyamatban részt vevő személyzet speciális köpenyeket, kesztyűt és egyéb védőruházatot visel, hogy megakadályozza a testükből és bőrükből származó olajok szennyeződését.
2. Tisztatéri besorolás: A gyártási környezetet különböző tisztatéri osztályokba sorolják az adott folyamathoz szükséges tisztasági szint alapján.
3. Levegőszűrés: Nagy hatékonyságú részecskelevegő (HEPA) szűrőket használnak a részecskék és egyéb szennyeződések eltávolítására a levegőből.
4. Anyagkezelés: Speciális berendezéseket és technikákat alkalmaznak az anyagok és alkatrészek olyan kezelésére, amely minimálisra csökkenti a szennyeződés kockázatát.
5. Tisztítás és fertőtlenítés: A gyártóberendezéseket és a munkafelületeket rendszeresen tisztítják és fertőtlenítik, hogy megakadályozzák a részecskék és vegyi szennyeződések felhalmozódását.
6. Folyamatszabályozás: A gyártási folyamatot szigorúan ellenőrzik, hogy minimálisra csökkentsék annak kockázatát, hogy szennyeződések kerüljenek a termékbe.
7. Minőség-ellenőrzés: Rendszeres minőség-ellenőrzési ellenőrzéseket végeznek annak biztosítására, hogy a végtermék megfelel-e az előírt előírásoknak, és mentes-e a hibáktól vagy szennyeződésektől.
Ezen CRP-eljárások követésével a félvezetőgyártók minimálisra csökkenthetik a szennyeződés kockázatát, és biztosíthatják termékeik magas minőségét és megbízhatóságát. Termékek.



