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半導体製造におけるクリーンルームプロセス (CRP) を理解する

クリーン ルーム プロセス (CRP) は、製造環境の清浄度を確保し、製造プロセス中の汚染を防ぐために半導体業界で使用される方法論です。 CRP の目標は、最終製品の性能や歩留まりを損なう可能性のある粒子や化学汚染物質が製造プロセスに導入されるリスクを最小限に抑えることです。CRP には、全体を通して清潔で管理された環境を維持するように設計された一連のステップと手順が含まれます。製造工程。これらの手順には以下が含まれる場合があります:

1。ガウンと手袋: 製造プロセスに携わる担当者は、身体や皮膚の油による汚染を防ぐために、特別なガウン、手袋、その他の保護服を着用します。クリーンルームの分類: 製造環境は、実行される特定のプロセスに必要な清浄度のレベルに基づいて、さまざまなクリーンルーム クラスに分類されます。空気濾過: 空気から粒子やその他の汚染物質を除去するために、高効率微粒子空気 (HEPA) フィルターが使用されます。資材の取り扱い: 汚染のリスクを最小限に抑える方法で資材やコンポーネントを取り扱うために、特殊な装置と技術が使用されます。洗浄と除染: 粒子や化学汚染物質の蓄積を防ぐために、製造装置と作業面は定期的に洗浄および除染されます。プロセス管理: 製品に汚染物質が混入するリスクを最小限に抑えるために、製造プロセスは厳密に管理されています。品質管理: 最終製品が要求仕様を満たし、欠陥や汚染がないことを確認するために定期的な品質管理チェックが実行されます。これらの CRP 手順に従うことで、半導体メーカーは汚染のリスクを最小限に抑え、製品の高い品質と信頼性を確保できます。製品。

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